電子專用氣體系統(tǒng)閥箱VMB/閥盤VMP的介紹及硬件和安全功能I.閥組VMB (閥組)/閥盤VMP (閥組面板) 介紹這是一個嵌入多個分配管道和排氣管的盒子。它允許氣體從單一來源分配到多點應用 (典型的...
2021-12-17 
特氣柜GC 特氣架GR（Gas Cabinet or Gas Rack）的功能與分類特氣柜Gas Cabinet是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統(tǒng)，按類別可分為：全自動、半自...
2021-12-17 
特種供氣系統(tǒng)報警系統(tǒng)泄漏的應急處理及從業(yè)人員安全注意事項專用氣瓶裝入專用氣柜，經專用氣柜降壓過濾后，送入車間VMB/VMP（有毒氣體用VMB，無毒氣體用VMP）。特殊氣體進入VMB/VMP后，根據(jù)設備...
2021-12-17 
集中供氣系統(tǒng)中氣瓶存儲房的設計要求集中供氣系統(tǒng)采用手動、半自動或全自動切換系統(tǒng)。通常每個供氣源處于開關和待機狀態(tài)。局部或整體的氣體壓力和流量可根據(jù)儀表工況進行調節(jié)，既能保證儀表氣體流量和壓力的穩(wěn)定性和...
2021-12-16 
電子氣體檢漏儀的重要性及安裝要求為什么電子氣體檢漏儀的安裝很標準在生產運行中，由于固定探測器和采樣口帶有取樣管的非標準安裝，導致探測器誤報，不能及時報警，甚至不能起到有效的作用。該探測器受自身探測器范...
2021-12-16 
電子特氣輸氣系統(tǒng)設備配置規(guī)范電子特種氣體管道系統(tǒng)1、GC、GR可使用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（單瓶型），外置雙工藝氣瓶 內置吹掃氮氣和內置雙工藝氣瓶等多種結構配置吹掃氮氣。2、GC、GR應設置工...
2021-12-16 
隨著半導體產業(yè)的蓬勃發(fā)展，對其配套項目提出了更高的要求。特種氣體供應未形成有效體系，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混入等問題較為嚴重，極大影響用氣安全。那么特種氣體管道工程中的廢氣尾氣如何處理呢？今天...
2021-12-16 
精密氣體輸送是半導體制造的核心。不同特性的氣體（腐蝕性、反應性或者惰性）以不同流速輸送至工藝室，從而實現(xiàn)邏輯芯片和存儲器芯片的某些關鍵工藝。這些氣體統(tǒng)稱電特氣(ESG)，不僅需要精確的數(shù)量和良好的重復...
2021-12-15 
特氣產品中存在大量的高毒性，自燃性，可燃性及禁水性物質，故特氣系統(tǒng)安全防范措施會成為極端狀況下的最后屏障。同時，由于高成本、低使用概率的特點，也非常容易被忽視?；鹧?zhèn)蓽y器：依據(jù)不同的火焰性質決定煙霧報...
2021-12-15