電子專(zhuān)用氣體系統(tǒng)閥箱VMB/閥盤(pán)VMP的介紹及硬件和安全功能
I.閥組VMB (閥組)/閥盤(pán)VMP (閥組面板) 介紹
這是一個(gè)嵌入多個(gè)分配管道和排氣管的盒子。它允許氣體從單一來(lái)源分配到多點(diǎn)應(yīng)用 (典型的設(shè)計(jì)是四點(diǎn)，并介紹了操作手冊(cè))。對(duì)于每個(gè)使用點(diǎn)，可以分別調(diào)節(jié)氣壓以滿足個(gè)人應(yīng)用要求。它還提供循環(huán)清潔功能和真空泵功能，因此可以安全地拆卸VMB的每個(gè)部分，而不會(huì)泄漏危險(xiǎn)氣體。此外，它還可以清潔某種氣體分配管或真空泵，而不會(huì)影響其他應(yīng)用點(diǎn)的氣體供應(yīng)。VMB被設(shè)計(jì)和制造為用作單一氣體，不能一起使用。設(shè)計(jì)用于腐蝕性、有毒和其他危險(xiǎn)氣體供應(yīng)。VMP (閥組) 和VMB的區(qū)別在于它使用了開(kāi)放式管道分配組件，這些組件通常用于惰性氣體。
目前，隨著流程越來(lái)越先進(jìn)，BSGS系統(tǒng)生成，但供應(yīng)不穩(wěn)定，一個(gè)VMB可以分配給多個(gè)VMB，所以VDB將被添加到中間。VDB (閥門(mén)分配箱) 是VMB的主要管理器。VDB首先連接到FAB，然后分發(fā)到每個(gè)VMB。一些VDB工廠被稱(chēng)為FDB (流量分配箱)，隨著配電箱的流量，它通常用于流量需求特別大的氣體供應(yīng)。VDB是一個(gè)雙向管道 (具有一個(gè)備份) 和多個(gè)管道。VDP (閥門(mén)分配面板) 對(duì)于惰性氣體是可選的。
二.閥組VMB (閥組)/閥盤(pán)VMP (閥組面板) 的硬件介紹:
1.人機(jī)界面: 作為人與控制器之間的控制和通信接口。
一方面，它可以顯示系統(tǒng)的現(xiàn)狀，同事也可以接受操作員發(fā)出的指令作為系統(tǒng)運(yùn)行的確認(rèn)。
2. PLC: 整體控制的處理中心。
3.電磁閥: 控制氣動(dòng)閥的打開(kāi)和關(guān)閉。
(電磁閥是可調(diào)整的pe，電磁閥可以根據(jù)需要強(qiáng)制打開(kāi))
4.緊急堵塞按鈕: 當(dāng)系統(tǒng)出現(xiàn)異常時(shí)，按下此按鈕關(guān)閉盤(pán)面氣動(dòng)閥。
5. LED指示燈: 系統(tǒng)的當(dāng)前狀態(tài)由指示燈指示。
系統(tǒng)正常 :( 正常)
庫(kù)存不足 :( 數(shù)量少)
異常報(bào)警 :( 關(guān)機(jī)) 或 (警告)
6.紫色/紅外線火焰?zhèn)鞲衅? 當(dāng)檢測(cè)到火災(zāi)時(shí)，信息被傳送到PLC進(jìn)行處理。
7.差壓設(shè)定開(kāi)關(guān): 當(dāng)箱體與大氣壓之間的差壓未達(dá)到設(shè)定值時(shí)，將消息發(fā)送到PLC進(jìn)行處理。
8.差速計(jì): 顯示盒子和大氣壓之間的差壓。
9.繼電器: 根據(jù)電路設(shè)計(jì)，它可以用作控制輸出或觸點(diǎn)。
10.電源單元: 由于控制回路使用的電源是DC 24V，轉(zhuǎn)換時(shí)需要電源。
11.溫度開(kāi)關(guān): 當(dāng)盒子的溫度高于設(shè)定值時(shí)，信息被傳送到可編程控制器進(jìn)行處理。
12.I.A過(guò)流開(kāi)關(guān): 當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥的軟管松動(dòng)或爆裂，導(dǎo)致過(guò)流時(shí)，通知輸出信號(hào)。
三、閥組VMB (閥組)/閥盤(pán)VMP (閥組面板) 安全功能介紹
1.緊急停止按鈕: 按下緊急停止按鈕關(guān)閉所有氣動(dòng)閥。
2.遠(yuǎn)程緊急停止控制: 當(dāng)遠(yuǎn)程緊急停止動(dòng)作被驅(qū)動(dòng)時(shí)，所有氣動(dòng)閥都可以被關(guān)閉。
3. I.壓力開(kāi)關(guān): 當(dāng)氣動(dòng)閥的驅(qū)動(dòng)壓力不足時(shí)，會(huì)發(fā)出警報(bào)。設(shè)定壓力為0.4 ~ 0.63兆帕
4.過(guò)熱開(kāi)關(guān): 當(dāng)檢測(cè)到盒子的環(huán)境溫度高于設(shè)定值時(shí)，將輸出警報(bào)，并自動(dòng)關(guān)閉所有閥門(mén)。設(shè)定溫度為70 ℃
5.紫色/紅外火焰?zhèn)鞲衅? 當(dāng)感覺(jué)到火災(zāi)時(shí)，會(huì)發(fā)出警報(bào)，所有閥門(mén)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。
6.流量開(kāi)關(guān): 當(dāng)流量開(kāi)關(guān) (EFS) 由于管道中的流量過(guò)大而被驅(qū)動(dòng)時(shí)，會(huì)發(fā)出警報(bào)，并且用戶(hù)側(cè)的閥門(mén)會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。
7.差壓開(kāi)關(guān): 當(dāng)箱內(nèi)差壓太小時(shí)，會(huì)發(fā)出報(bào)警。將壓力差設(shè)置為50 Pa以上。當(dāng)壓力差不足時(shí)，當(dāng)氣體泄漏時(shí)，氣體很容易從盒子里擴(kuò)散出來(lái)。因此，打開(kāi)盒子的門(mén)時(shí)，請(qǐng)注意盒子和大盒子。氣體的壓差是否充足。
以上是電子專(zhuān)用燃?xì)庀到y(tǒng)閥箱VMB/閥板VMP的簡(jiǎn)要介紹，以及由瑞斯達(dá)流體工程技術(shù)簡(jiǎn)單組織的硬件和安全功能介紹。我希望為您提供參考。
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