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商品類型:閥門箱VMB/閥門盤VMP
上架時間:2021-11-05
產(chǎn)品描述:16路特氣分配柜(VMB)16路特氣分配柜(VMB)(Valve Manifold Box),是一種內(nèi)嵌多支路,實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應(yīng)用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調(diào)控,從而可同時滿足不同應(yīng)用的
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高純氣VMP閥門盤
高純氣VMP閥門盤,是一種內(nèi)嵌多支路,實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱。
VMP能讓高純原料從單一來源被分配到多點應(yīng)用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調(diào)控,從而可同時滿足不同應(yīng)用的需求。
它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMP的每一部份。
除此以外,設(shè)備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下,吹掃某一支路或?qū)ζ溥M行真空抽氣。
VMP通過采用安裝的壓力表、手動閥等裝置,具有成本低的優(yōu)勢,能夠?qū)崿F(xiàn)設(shè)備安全有效的運行,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
適用氣體:
易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
適用行業(yè):
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等