電子氣體檢漏儀的重要性及安裝要求為什么電子氣體檢漏儀的安裝很標(biāo)準(zhǔn)在生產(chǎn)運(yùn)行中,由于固定探測(cè)器和采樣口帶有取樣管的非標(biāo)準(zhǔn)安裝,導(dǎo)致探測(cè)器誤報(bào),不能及時(shí)報(bào)警,甚至不能起到有效的作用。該探測(cè)器受自身探測(cè)器范...
2021-12-16
電子特氣輸氣系統(tǒng)設(shè)備配置規(guī)范電子特種氣體管道系統(tǒng)1、GC、GR可使用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚▎纹啃停?,外置雙工藝氣瓶 內(nèi)置吹掃氮?dú)夂蛢?nèi)置雙工藝氣瓶等多種結(jié)構(gòu)配置吹掃氮?dú)狻?、GC、GR應(yīng)設(shè)置工...
2021-12-16
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,對(duì)其配套項(xiàng)目提出了更高的要求。特種氣體供應(yīng)未形成有效體系,鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混入等問題較為嚴(yán)重,極大影響用氣安全。那么特種氣體管道工程中的廢氣尾氣如何處理呢?今天...
2021-12-16
精密氣體輸送是半導(dǎo)體制造的核心。不同特性的氣體(腐蝕性、反應(yīng)性或者惰性)以不同流速輸送至工藝室,從而實(shí)現(xiàn)邏輯芯片和存儲(chǔ)器芯片的某些關(guān)鍵工藝。這些氣體統(tǒng)稱電特氣(ESG),不僅需要精確的數(shù)量和良好的重復(fù)...
2021-12-15
特氣產(chǎn)品中存在大量的高毒性,自燃性,可燃性及禁水性物質(zhì),故特氣系統(tǒng)安全防范措施會(huì)成為極端狀況下的最后屏障。同時(shí),由于高成本、低使用概率的特點(diǎn),也非常容易被忽視?;鹧?zhèn)蓽y(cè)器:依據(jù)不同的火焰性質(zhì)決定煙霧報(bào)...
2021-12-15
特氣系統(tǒng)是用于保證特種氣體安全使用的系統(tǒng),大致由特氣設(shè)備、特種氣體管道和使用終端三部分組成,其中,特氣柜是特氣系統(tǒng)的核心設(shè)備,關(guān)系著穩(wěn)定輸送氣體、保證特種氣體的使用安全和人員安全等功能。特種氣體的氣體...
2021-12-15
電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝...
2021-12-15
前言:一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中,全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。一:概念 特氣輸送系統(tǒng)是指:...
2021-12-15
壓縮空氣管道系統(tǒng)設(shè)計(jì)與安裝空壓機(jī)房1、機(jī)器對(duì)環(huán)境的影響最小。2、使機(jī)器最大程度滿足各種環(huán)境的要求。3、人機(jī)關(guān)系良好。就空壓站而言,其設(shè)計(jì)和安裝對(duì)生產(chǎn)成本有直接影響,如能耗、生產(chǎn)工藝要求、空氣質(zhì)量、耗氣...
2021-12-11