電子特氣系統(tǒng)：
特氣系統(tǒng)是指特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。
特氣系統(tǒng)組成及特氣分類
特氣系統(tǒng)組成：由儲(chǔ)存、輸送、分配、控制四類設(shè)備組成。其中“存儲(chǔ)”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。
特氣分類：電子特氣根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分自燃?xì)怏w、易燃爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;所以對(duì)應(yīng)的特氣系統(tǒng)也按此分為四類。
特氣系統(tǒng)特點(diǎn)：
特氣系統(tǒng)中的每臺(tái)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺(tái)設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn)，也可多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接。
應(yīng)用行業(yè)及設(shè)備：
芯片半導(dǎo)體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設(shè)備。
電子特氣工程純度要求：
特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個(gè) N 以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數(shù)量級(jí)都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。例如，12吋、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上，有害的氣體雜質(zhì)濃度需要控制在 ppb(10-9);在更為先進(jìn)的28nm 及目前國際一線的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中，電子特氣的純度要求更高，雜質(zhì)濃度要求甚至達(dá)到 ppt(10-12)級(jí)別。
特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。最后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。
其現(xiàn)場基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會(huì)審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗(yàn)收
特氣系統(tǒng)檢測：
a. 設(shè)備安裝完成后，按照系統(tǒng)要求的基本功能逐一測試。
b. 系統(tǒng)運(yùn)行正常，聯(lián)機(jī)測試通過。
c. 如商檢或設(shè)備測試中發(fā)現(xiàn)設(shè)備性能指標(biāo)或功能上不符合招標(biāo)文件和合同時(shí)，將被看作性能不合格，設(shè)備使用單位有權(quán)拒收并要求賠償。
d. 我公司負(fù)責(zé)在項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)將系統(tǒng)的全部有關(guān)產(chǎn)品說明書、原廠家安裝手冊(cè)、技術(shù)文件、資料、及安裝、驗(yàn)收?qǐng)?bào)告等文檔交付設(shè)備使用單位。
e. 針對(duì)以上情況及實(shí)際工作壓力，參考《國家工業(yè)管道安裝及驗(yàn)收規(guī)范》(GB50235-2010)、《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》(GB50236-2010)等部分有關(guān)規(guī)定，對(duì)本項(xiàng)目氣體管道壓力試驗(yàn)及凈化制定具體方案。
設(shè)計(jì)規(guī)范及參考：
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